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      作者:http://www.liuhuayi.com 发布时间:2022-03-16 22:34:09

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      2.采用不锈钢制造,整机结构牢固可靠;

      3.使用三个GK系列高效空气过滤器。

      4.PECVD载具可倾斜15度或内部旋转180度;

      5.净化风机噪音小于50dB。

      6.确保工作区的洁净度达到工艺要求的100级。



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